Système CVD de four à tube à atmosphère sous vide 1400℃

LA DESCRIPTION

Fournit un environnement expérimental avec vide, atmosphère contrôlée et haute température.

Ce système de croissance CVD convient aux processus CVD, tels que le revêtement de carbure de silicium, les tests de conductivité des substrats céramiques, la croissance contrôlée des nanostructures de ZnO et les expériences de frittage en atmosphère MLCC.

FONCTIONNALITÉS

1. Le four est constitué d'adsorption sous vide de fibre de mullite polycristalline, le champ de température est uniforme et l'économie d'énergie est supérieure à 50%

2. La technologie de déviation d'air et d'isolation thermique assure la durée de vie et l'effet de température constant de chaque composant dans la boîte

3. Démarrez la fournaise électrique et le ventilateur d'extraction fonctionnera automatiquement en même temps. Après le test, le ventilateur d'extraction continuera de fonctionner jusqu'à ce que la température du corps du four soit inférieure à 60 °C, et le ventilateur d'extraction s'arrêtera automatiquement, ce qui protège efficacement la surface du corps du four.

4. Mise hors tension automatique, fonction de protection contre la surchauffe, fonction de protection contre les fuites pour assurer la sécurité d'utilisation

5. Le circuit adopte un mode de sortie de chauffage continu, une alimentation à double circuit et un câblage séparé du courant fort et faible améliore la stabilité du système

6. Le module de chauffage adopte un signal CC pour ajuster la puissance de sortie, ce qui évite les interférences de l'électricité induite avec le signal de commande.

7. Compensation automatique de l'effet de contrôle de la température causé par la température ou le vieillissement sur le changement de valeur de résistance de la tige de carbure de silicium, évitant l'imprécision et le danger d'un réglage artificiel

8. Adoptez un instrument d'affichage de débit numérique, coopérez avec un contrôleur de débit massique, collectez des données et contrôlez le débit. Il a les caractéristiques d'une bonne répétabilité, d'une vitesse de réponse rapide, de stabilité et de fiabilité. (Système de contrôle du débit massique de gaz)

9. Contrôle automatique et fonction de commutation de contrôle manuel, le mode de contrôle automatique peut automatiquement allumer/éteindre la pompe à vide via la valeur définie pour maintenir le récipient dans une certaine plage de pression de vide. Le mode de contrôle manuel permet à l'utilisateur de faire fonctionner directement la pompe à vide via le bouton marche/arrêt de la pompe à vide. pour répondre aux besoins des différentes expériences. (Système de contrôle du vide moyen)

10 technologie de démarrage lent de l'électrovanne, de sorte que l'électrovanne est ouverte 10 secondes après la mise en marche de la pompe à vide, de sorte que la pression du système dans le tube du four soit maintenue précise, et cela garantit également que les gaz d'échappement ne reviendront pas au système de tube de four pour affecter l'effet expérimental (système de contrôle de vide moyen)

CARACTÉRISTIQUES