Système CVD de four tubulaire sous atmosphère sous vide à 1600°C

LA DESCRIPTION

Le système CVD (CVD-TF) pour four tubulaire sous vide/atmosphère à 1 600 °C offre un environnement expérimental avec vide, atmosphère contrôlable et haute température. Il est utilisé dans les domaines des semi-conducteurs, de la nanotechnologie, des fibres et d'autres domaines. Ce système de croissance CVD convient aux processus CVD, tels que le revêtement en carbure de silicium, le test de conductivité des substrats en céramique, la croissance contrôlable des nanostructures de ZnO, le frittage sous atmosphère de condensateurs en céramique (MLCC) et d'autres expériences.

FONCTIONNALITÉS

1. Le four est fabriqué en fibre de mullite polycristalline à adsorption sous vide, le champ de température est uniforme et l'économie d'énergie est supérieure à 50 %

2. La technologie de déviation d'air et d'isolation thermique auto-développée garantit la durée de vie et l'effet de température constante de chaque composant de la boîte

3. Lorsque le four électrique est démarré, le ventilateur d'extraction fonctionnera automatiquement en même temps. Après le test, le ventilateur d'extraction continuera de fonctionner jusqu'à ce que la température du corps du four soit inférieure à 60 °C, et le ventilateur d'extraction s'arrêtera automatiquement, ce qui protège efficacement la surface du corps du four.

4. La porte du four est ouverte avec une mise hors tension automatique, une fonction de protection contre la surchauffe et une fonction de protection contre les fuites pour assurer la sécurité d'utilisation.

5. Le circuit adopte un mode de sortie de chauffage continu, une alimentation à double circuit et un câblage séparé du courant fort et faible améliore la stabilité du système

6. Le module de chauffage adopte un signal CC pour ajuster la puissance de sortie, ce qui évite l'interférence de l'électricité induite avec le signal de commande.

7. Des boutons métalliques basse tension sont utilisés pour les boutons de fonctionnement, avec des voyants d'état, un fonctionnement sûr et intuitif.

8. Les corps du four supérieur et inférieur sont connectés par des fiches aéronautiques, qui sont sûres, fiables et pratiques à connecter.

9. L'ensemble du circuit de gaz est en acier inoxydable 316 de qualité alimentaire, qui présente une résistance à la corrosion, une résistance à la corrosion atmosphérique et une résistance aux hautes températures, et est non magnétique.

10. Adoptez un instrument d'affichage de débit numérique, coopérez avec le contrôleur de débit massique, collectez des données et contrôlez le débit. Il présente les caractéristiques d'une bonne répétabilité, d'une vitesse de réponse rapide, de stabilité et de fiabilité. (Système de contrôle du débit massique de gaz)

11. Fonction de commutation de contrôle automatique et de contrôle manuel, le mode de contrôle automatique peut ouvrir/fermer automatiquement la pompe à vide via la valeur définie, de sorte que le récipient puisse être maintenu dans une certaine plage de pression de vide. Le mode de contrôle manuel utilise l'utilisateur pour faire fonctionner directement la pompe à vide via le bouton marche/arrêt de la pompe à vide. pour répondre aux besoins de différentes expériences. (Système de contrôle du vide moyen)

12.La technologie de démarrage lent de l'électrovanne permet à l'électrovanne de s'ouvrir 10 secondes après la mise en marche de la pompe à vide, de sorte que la pression du système dans le tube du four est maintenue précise, et elle garantit également que les gaz d'échappement ne retourneront pas dans le système de tubes du four pour affecter l'effet expérimental (système de contrôle du vide moyen)

13.Alarme de surchauffe, verrouillage du menu, prévention de surchauffe, délai de récupération de puissance.

14.En utilisant la technologie de soupape unidirectionnelle, le débit de gaz est contrôlé dans une plage de pression contrôlable pour assurer la sécurité.

15.Le dispositif de réservoir de mélange de gaz est adopté, de sorte que le gaz peut être introduit dans la salle de travail après avoir été entièrement mélangé pour garantir qu'il ne fuira pas.

CARACTÉRISTIQUES